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玻璃晶圆
石英玻璃 小原 Ohara® SK1300
Ohara® SK1300玻璃晶圆
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商品详情
生长方法:合成
主要成分:SiO2
密度:2.2g/cm^3
荧光:无(从254nm波长起)
羟基含量:<200ppm
 



机械性能 Mechanical property
项目Item 值Value
密度ρ (25 °C)  Density 2.2g/cm3
泊松比    Poisson's ratio 1.1
弯曲强度  Vickers hardness 55
 



热学性能 Thermal property
项目Item 值Value
线性热膨胀系数
Thermal Expansion
5.5*10-7
 
应变点
Strain Point (°C)
1700
退火点
Anneal Point
1060




技术规格
Diameter 2inch 3inch 4inch 5inch 6inch 8inch 12inch
Thickness (um) Depends on Request
Material SK1300
Grade/Brand 小原Ohara®
Surface Finished DSP、SSP、DSL
TTV (um) <5 <5 <5 <5 <5 <10 <15
Bow/Warp (um) <20 <20 <30 <30 <30 <40 <60
Ra (nm) <1
S/D (um) 40/20
特殊指标:
超平玻璃(Ultra-flat glass wafer) TTV<1um
超薄玻璃(Ultra-thin glass wafer) Thickness:0.1-0.3um
超光滑玻璃(Ultra-smooth glass wafer )Ra≤0.2nm

 

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