| 牌号 | 名称 | 应用光谱波段范 （um） |
| JGS1 | 远紫外光学石英玻璃 | 0.185-2.5 |
| 类别 | 厚度10mm毛坯的透过率（%） | |||||
| 0.185um | 0.200um | 0.220um | 0.240um | 0.300um | 0.185-1.2um | |
| 1 | ＞85 | ＞85 | ＞85 | ＞87 | ＞90 | 无吸收峰 |
| 2 | ＞70 | ＞80 | ＞80 | ＞80 | ＞85 | 无吸收峰 |
| 3 | ＞70 | ＞70 | ＞70 | ＞80 | 允许有吸收峰 | |
技术规格
| Diameter | 2inch | 3inch | 4inch | 5inch | 6inch | 8inch | 12inch |
| Thickness (um) | Depends on Request | ||||||
| Material | JGS1 | ||||||
| Grade/Brand | Fused Silica | ||||||
| Surface Finished | DSP、SSP、DSL | ||||||
| TTV (um) | ＜5 | ＜5 | ＜5 | ＜5 | ＜5 | ＜10 | ＜15 |
| Bow/Warp (um) | ＜20 | ＜20 | ＜30 | ＜30 | ＜30 | ＜40 | ＜60 |
| Ra (nm) | ＜1 | ||||||
| S/D (um) | 40/20 | ||||||
| 特殊指标： 超平玻璃（Ultra-flat glass wafer） TTV＜1um 超薄玻璃（Ultra-thin glass wafer） Thickness：0.1-0.3um 超光滑玻璃（Ultra-smooth glass wafer ）Ra≤0.2nm |
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