| 光学性能 Optical property | |||
| 折射率 (nd (λ587.6 nm)) Refractive Index |
阿贝值 (ve = (ne– 1) / (nF‘ – nC‘)) Abbe Number |
色散 (nF– nC) Dispersion |
应力光弹系数 (K) Stress Photoelastic Coefficient |
| 1.47140 | 65.41 | 71.4 x 10-4 | 4.0 x 10-6 mm2 N-1 |
| 化学稳定性Chemical Stability | ||
| 耐水性 | (根据 ISO 719 / DIN 12 111 要求) | HGB 1 |
| 耐水性 | (根据 ISO 720 要求) | HGA 1 |
| 耐酸性 | (根据 ISO 1776 / DIN 12 116 要求) | 1 |
| 耐碱性 | (根据 ISO 695 / DIN 52 322 要求) | A 2 |
| 机械性能 Mechanical property | |
| 项目Item | 值Value |
| 密度ρ (25 °C) Density | 2.23 g/cm3 |
| 弹性系数 Ε (DIN 13316) Shear Modulus | 64 kN/mm2 |
| 泊松比 μ (DIN 13316) Poisson's ratio | 0.2 |
| 努氏硬度0.1/20 (ISO 9385) Knoop Hardness | 480 |
| 弯曲强度 σ(DIN 52292 T 1) Bending Strength | 25 MPa |
| 电学性能 Electrical property | ||
| 项目Item | 值Value | |
| 介电常数（εr） Dielectric Constant（25℃，1 MHz） |
4.6 | |
| 漏电常数（tanδ） Leakage Constant（25℃，1 MHz） |
37×10-4 | |
| 电阻率对数（lg ρ） Resistivity |
250℃ | 8.0Ω·cm |
| 电阻率对数（lg ρ） Resistivity |
350℃ | 6.5Ω·cm |
| 热学性能 Thermal property | |
| 项目Item | 值Value |
| 线性热膨胀系数 α (20 - 300 °C) Coefficient of Linear Thermal Expansion |
3.25 x 10-6 K-1 * |
| 比热容 Cp (20 - 100 °C) Specific Heat Capacity |
0.83 kJ/(kg·K) |
| 热导率 λ (90 °C) Thermal Conductivity |
1.2 W/(m·K) |
| 化学稳定性Chemical Stability | ||
| 耐水性 | (根据 ISO DIN 719 要求) | HGB 1 |
| 耐酸性 | (根据 DIN 12 116 要求) | S 2 |
| 耐碱性 | (根据 DIN ISO 695 要求) | A 2 |
| Diameter | 2inch | 3inch | 4inch | 5inch | 6inch | 8inch | 12inch |
| Thickness (um) | Depends on Request | ||||||
| Material | BOROFLOAT33 | ||||||
| Grade/Brand | Schott® | ||||||
| Surface Finished | DSP、SSP、DSL | ||||||
| TTV (um) | ＜5 | ＜5 | ＜5 | ＜5 | ＜5 | ＜10 | ＜15 |
| Bow/Warp (um) | ＜20 | ＜20 | ＜30 | ＜30 | ＜30 | ＜40 | ＜60 |
| Ra (nm) | ＜1 | ||||||
| S/D (um) | 40/20 | ||||||
| 特殊指标： 超平玻璃（Ultra-flat glass wafer） TTV＜1um 超薄玻璃（Ultra-thin glass wafer） Thickness：0.1-0.3um 超光滑玻璃（Ultra-smooth glass wafer ）Ra≤0.2nm |
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